كهروميكانيكا الصغائر
(بالتحويل من نظم كهروميكانيكية نانوية)
|
كهروميكانيكا الصغائر حقل علمي قائم على تقنية تصنيع أشباه الموصلات السيليكونية ويرمي إلى صناعة آلات صغائرية بالإفادة من تلك التقنية.وستجد هذه الآلات الصغائرية طلبا عليها عدة مجالات منها علوم الأرض والفضاء والمركبات والأجهزة والتقانة الحيوية والإنساليات[١].
| ملف:Rotaxane.png | هذه بذرة مقالة عن تقانة نانوية تحتاج للنمو والتحسين، فساهم في إثرائها بالمشاركة في تحريرها. |
حواشٍ
Nanoelectromechanical system]] fr:Nanosystème électromécanique it:NEMS ja:NEMS simple:Nanoelectromechanical systems sv:NEMS zh:纳机电系统
