انظمة الكهروميكانيكة الدقيقة
| هذه المقالة يتيمة حيث أن عددًا قليلاً من المقالات أو لا مقالات إطلاقًا تصل إليها. ساعد من فضلك بإضافة وصلات في المقالات ذات العلاقة. (أبريل_2011) |
| هذا المقال أو المقطع ينقصه الاستشهاد بمصادر. الرجاء تحسين المقال بوضع مصادر مناسبة. أي معلومات غير موثقة يمكن التشكيك بها وإزالتها. وسم هذا القالب منذ: أبريل_2011 |
أنظمة الكهروميكانيكة الدقيقة (MEMS) (كما يكتب أيضا الكهربائية-الميكانيكية-الدقيقة، الكهروميكانيكة الدقيقة أو أنظمة الكهرو الدقيقة والكهروميكانيكية الدقيقة) هي تكنولوجيا من الأجهزة الميكانيكية الصغيرة جدا مدفوعا بالكهرباء ؛وهي تدمج في نطاق النانو إلى أنظمة الكهروميكانيكة النانونية (NEMS) ونانو تكنولوجيا. MEMS ويشار أيضا إلى الالات الدقيقة (في اليابان)، أو أنظمة تكنولوجيا الدقيقة - MST (في أوروبا)
